Evactron 25 Zephyr Plasma Decontaminator，產(chǎn)品型號：91000-10。

Evactron 25 Zephyr Plasma Decontaminator，描述：

這種易于使用的桌面模型可輕松去除 SEM、FIB 和其他真空室中的大氣碳氫化合物和碳污染物。

Evactron® 25 型 Zephyr 去污器使用遠程射頻等離子體產(chǎn)生氣相自由基，這些自由基流向下游通過腔室消除污染。

該模型是為使用渦輪分子泵 (TMP) 的腔室創(chuàng)建的。它設計用于在 1-50 mTorr 的渦輪壓力范圍內(nèi)清潔/凈化，并且對 TMP 溫度沒有不利影響。

特征：

• 在渦輪泵壓力下清潔腔室

• 5-20 瓦射頻功率

• 清潔率提高 ≥10 倍

• 一鍵操作

• 1-50 mTorr 工作壓力

上海牧榮生物科技有限公司

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